Siliziumfilter - Partikelanalyse nach Maß
Siliziumfilter - Partikelanalyse nach Maß
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Filter und Zubehör

Siliziumfilter nach Maß

Variable Filtergeometrien
© Fraunhofer CSP
Variable Filtergeometrien: 25 mm, 23 mm, 13 mm, 9 mm.
Lasergebohrter Si-Filter
© Fraunhofer CSP
Lasergebohrter Si-Filter mit Beispielen für verschiedene Porengrößen in der mikroskopischen Detailansicht.

Als Ausgangsmaterial für unsere Filter verwenden wir monokristallines, hochglanzpoliertes Czochralski-Siliziumwafer. Bei der Prozessierung legen wir dabei besonderen Wert auf Homogenität und Sauberkeit.

Variabel möglich sind folgende Spezifikationen:

  • Waferdicke: 180, 300, 500 µm
  • Herstellungsprozess: UKP-Laserbohrprozess (Patent erteilt 11/2021)
  • Porengrößenbereich: 1000 – 15 µm
  • Porenanordnung: frei wählbar (hexagonal, quadratisch)
  • individuelle Filterkonfektionierung: quadratisch/rund mit variablen Durchmessern von 15 cm bis 5 mm
  • bei Bedarf Lasermarkierungen oder Unterbrechung der Poren (z.B. Pinzetten-Aussparung)

Equipment zur Filterung

Filtereinsatz-Set für die kaskadierte Filtrierung
© Fraunhofer CSP
Filtereinsatz-Set für die kaskadierte Filtrierung mit den Komponenten: 1 Metall-Filtrationsadapter für TED GC-MS-Probenhalter | 2 Rostfreie O-Ringe für TED GC-MS Filtertiegel | 3 TED GC-MS-Filtertiegel aus rostfreiem Stahl | 4 Schraubrohr für Filtertiegel | 5 Edelstahl-Separator für Filter | 6 Edelstahl-Schraubrohr | 7 Edelstahl-Multitool | 8 Filter mit 9 mm Durchmesser und verschiedenen Porengrößen

Für die Durchführung von Filtrationsexperimenten in Wasser und Luft bieten wir Zubehör (siehe Abbildung), das mit unseren Filtern kompatibel ist und in kommerzielle Filtersysteme - zum Beispiel das Sartorius-Filterkit - integriert werden kann. Bei der Anwendung einer Filterkaskade (Filter verschiedener Porengrößen) beispielsweise kommt ein Sartorius-Edelstahltrichter mit Ablasshahn zum Einsatz.

Um den Einbau der Filter in das Filtersystem erleichtern,  verwenden wir zudem speziell angefertigte Werkzeuge und Adapterringe. Auch diese sind bei uns erhältlich, ebenso wie Messtöpfchen für die TED-GC-MS-Analytik.